特許
J-GLOBAL ID:200903060580946788
外部環境から隔離された2つのチャンバ間のドア連結装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
谷 義一 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-588773
公開番号(公開出願番号):特表2002-532670
出願日: 1999年12月09日
公開日(公表日): 2002年10月02日
要約:
【要約】この発明は密封装置の連結装置に関し、ここで、固定されたAおよび移送可能なBの各チャンバには、密封手段(12,14)の介在物を具えるフランジ(4,5)と協働するドア(2,3)に備えられた少なくとも一つのアクセス用開口部が設けられ、2つのドアの一方が対応するフランジ(4)に連結されており、2つのドア(2,3)にはそれぞれのフランジ(4,5)にロック手段とそれらを連結する連結手段が備えられ、密封手段(12,16)間の接触を介して、それらの面(17,18)を外部環境に関して媒体から隔離する内側空間Cを形成する。2つのドア(2,3)をお互いに連結する手段は、少なくとも一方のドアに設けられ、その一端において、前記ドアの外面(18)から出て密封された内部空間「C」に至るチャンネル(30,34,35)のネットワークを具え、該ネットワークは、他方の端部において、真空源(39)と接続されている。装置は、真空源(39)とチャンネル(30,34,35)のネットワークを接続するパイプ系に、パイプ系中の真空値を測定するセンサ(44)を備える。前記真空が特定の閾値より低いとき警報が起動され、これにより可能な故障の検知を可能にする。
請求項(抜粋):
外部媒体から隔離された2つのチャンバの密封連結装置におけるドア連結装置であって、 第一に、固定されているまたは「変位可能な」「A」および移動可能または移送可能な「B」の各チャンバは、固定フレームを形成するフランジ(4,5)と協働するドア(2,3)に備えられた少なくとも一つのアクセス用開口部を有し、該ドアは、密封手段(12,14)の介在物を具え、2つのドアのうちの一方(2)がフランジ(4)に連結されており、 第二に、2つのドア(2,3)は、対応するそれぞれのフランジ(4,5)へのロック手段と補助連結手段を有し、該手段は、一つのチャンバの内容物が他のチャンバに移動される前であって、フランジ(4,5)が密封すべくお互いにロックされている間に、2つのドア(2,3)が連結されるのを許容し、それによって、密封手段(12,16および13,14)の接触を介して、現在接触している面(17,18)を外部媒体から隔離する内部空間「C」を形成し、 第三に、フランジ(4,5)の相互ロックを制御する外部手段と、対応するフランジからのドア(2,3)のアンロックを制御する外部手段とが設けられ、 第四に、2つのドア(2,3)間の連結手段が、内部空間「C」に向かって開き、且つ真空源(39)に連結されドアの少なくとも一方に形成されたダクト(30,34,35)で構成された装置であって、 真空源(39)をダクト(30,34,35)のネットワークに接続するダクト系(38)に、このダクト系中の部分的な真空の強さを測定し、この部分的な真空が表示値または記憶値に届かないときに、警報装置(45)に反応を起こさせるセンサー(44)を具えることを特徴とするドア連結装置。
IPC (2件):
FI (2件):
F16J 15/00 E
, E06B 5/00 Z
Fターム (1件):
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (9件)
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搬送用のポートシステム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-239182
出願人:ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド
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外部環境から隔離された2つの密閉室を結合密封する装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-151374
出願人:イーデーセー-イゾラトゥールデノミナトゥールコミュン
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特開昭63-015133
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特開昭63-015133
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特開昭60-157587
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特開昭60-157587
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トランスファー・ポート・システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-052959
出願人:ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド
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特開昭58-125493
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特開昭58-125493
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