特許
J-GLOBAL ID：200903060586195628

ウェーハ搬送装置およびウェーハ搬送方法

発明者：
米山 詩麻夫

米山 詩麻夫 について

, 
長田 厚

長田 厚 について


出願人/特許権者：
エム・シー・エレクトロニクス株式会社

エム・シー・エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-042942
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233588
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハ処理装置に未処理のウェーハを供給する搬送工程と、ウェーハ処理装置から処理済のウェーハを回収する搬送工程とを統合してウェーハ搬送装置の搬送効率を向上させ、ウェーハ処理装置の処理効率を向上させる。【解決手段】 ロボットアーム(2)及びサセプタ(1)に付設されたウェーハ昇降機構(3)を含むウェーハ搬送装置であって、ロボットアーム(2)は、ウェーハ(W1,W2)を支持する上下2段のフィンガ(2A,2B)を有し、ウェーハ昇降機構(3)は、上段、中段および下段の各位置に停止可能に且つウェーハ(W1,W2)の周縁部を支持可能に構成された複数のウェーハ支持部(3A)を有する。上段のフィンガ(2A)はウェーハ支持部(3A)の上段位置と中段位置との間の高さ位置に臨み、下段のフィンガ(2B)はウェーハ支持部(3A)の中段位置と下段位置との間の高さ位置に臨んでいる。
請求項（抜粋）：
ウェーハ処理装置のウェーハ保持用のサセプタ上に未処理のウェーハを供給し、サセプタ上から処理済のウェーハを回収するウェーハ搬送装置であって、当該ウェーハ搬送装置は、ウェーハを水平に支持して搬送するロボットアーム及び前記サセプタに付設されたウェーハ昇降機構を含み、前記ロボットアームは、ウェーハを支持する上下2段のフィンガを有し、前記ウェーハ昇降機構は、上段位置、中段位置および下段位置に停止可能に且つウェーハの周縁部を支持可能に構成された複数のウェーハ支持部を有し、前記上下2段のフィンガは、前記ウェーハ支持部の上段位置と中段位置との間の高さ位置に上段のフィンガが臨み、中段位置と下段位置との間の高さ位置に下段のフィンガが臨む様に設けられていることを特徴とするウェーハ搬送装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/07
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 E ,  B65G 49/07 D
引用特許：
審査官引用 (4件)
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