流動物定量塗布装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-327681
公開番号（公開出願番号）：特開平9-164356
出願日： 1995年12月15日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】流動物の塗布量を外部要因に関係なく正確に制御することが可能で、且つ、簡単な構造で低コストな流動物定量塗布装置を提供する。【解決手段】高粘度グリース定量塗布装置1は、グリース貯蔵タンク2、グリース送り出しポンプ3、フレキシブルホース4、グリース有無検知センサ5、スポットヒータ6、多連計量吐出装置7から構成される。多連計量吐出装置7は、回転アクチュエータ11、ロータガイド12、ロータ13、ピストン14、ノズル15、グリース供給パイプ16から構成される。回転アクチュエータ11の駆動に従って、ロータ13は、ロータガイド12の空隙12c内を時計回り方向に回転摺動する。各ノズル15の開口部15a近傍には、スポットヒータ6およびグリース有無検知センサ5が取り付けられている。

請求項（抜粋）：

流動物(G)の供給孔(12a)および吐出孔(12b)が形成されたロータガイド(12)と、ロータガイド内に嵌め込まれ、ロータガイドに対して回転摺動可能な円柱状のロータ(13)と、ロータの中心軸(13a)と直交する位置に形成された円筒状の透孔から成るシリンダ(13b)と、そのシリンダの第1端部とロータガイドの供給孔とが接続された状態では、シリンダの第2端部とロータガイドの吐出孔とが接続されることと、シリンダ内に取り付けられたピストン(14)とを備えた流動物定量塗布装置。

引用特許：

出願人引用 (2件)

基板の洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350727 出願人：株式会社ミクロ技術研究所
特開昭61-025652

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