特許
J-GLOBAL ID：200903060636606853
縦型熱処理装置及びその低温域温度収束方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-432596
公開番号（公開出願番号）：特開2005-188869
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 低温域での昇温リカバリーにおける収束時間を短くすることができ、TATの短縮及びスループットの向上が図れる縦型熱処理装置及びその低温域温度収束方法を提供する。【解決手段】 上下方向に所定の間隔で保持された複数枚の被処理体wを収容する石英製の処理容器5と、該処理容器5の周囲に設けられ、処理容器5内の被処理体wを所定の熱処理温度に加熱するヒータと、該ヒータ8内に空気を送風して処理容器5を冷却する送風機16と、前記処理容器5内の温度を検知する温度センサ21と、被処理体wを低温域の所定温度で熱処理する際の昇温過程で所定温度に収束させるために前記ヒータ8及び送風機16を制御する制御装置22とを備えている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
上下方向に所定の間隔で保持された複数枚の被処理体を収容する石英製の処理容器と、該処理容器の周囲に設けられ、処理容器内の被処理体を所定の熱処理温度に加熱するヒータと、該ヒータ内に空気を送風して処理容器を冷却する送風機と、前記処理容器内の温度を検知する温度センサと、被処理体を低温域の所定温度で熱処理する際の昇温過程で所定温度に収束させるために前記ヒータ及び送風機を制御する制御装置とを備えたことを特徴とする縦型熱処理装置。
IPC (3件)：
F27B5/18
, F27D19/00
, H01L21/22
F27B5/18
, F27D19/00 A
, H01L21/22 511A
4K056AA09
, 4K056BA01
, 4K056BB06
, 4K056CA18
, 4K056FA04
, 4K061AA01
, 4K061BA11
, 4K061CA08
, 4K061CA13
, 4K061CA19
, 4K061DA05
, 4K061GA02
