特許
J-GLOBAL ID：200903028804874094

縦型熱処理装置およびその強制空冷方法

発明者：
小林 聡樹

小林 聡樹 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-107750
公開番号（公開出願番号）：特開2002-305189
出願日： 2001年04月05日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：
【要約】【課題】 強制空冷時にごみや熱気の吹き出しを防止する。【解決手段】 複数枚の被処理体wを下方から収容する縦型の処理容器2の外側にこれを取り囲むヒータ10を設置し、該ヒータ10の下部にヒータ10内へ冷却用の空気を送り込む送風部20を設け、ヒータ10の上部に排気口21を設け、該排気口21に排気ダクト23を接続した縦型熱処理装置1において、前記排気口21にこれを送風圧力により自動的に開閉する弁蓋27を設けている。
請求項（抜粋）：
複数枚の被処理体を下方から収容する縦型の処理容器の外側にこれを取り囲むヒータを設置し、該ヒータの下部にヒータ内へ冷却用の空気を送り込む送風部を設け、ヒータの上部に排気口を設け、該排気口に排気ダクトを接続した縦型熱処理装置において、前記排気口にこれを送風圧力により自動的に開閉する弁蓋を設けたことを特徴とする縦型熱処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/31 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511
FI (3件)：
H01L 21/31 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 A
Fターム (9件)：
5F045AA20 ,  5F045AB32 ,  5F045BB15 ,  5F045DP19 ,  5F045EB02 ,  5F045EJ04 ,  5F045EJ06 ,  5F045EJ10 ,  5F045EK06
引用特許：
出願人引用 (11件)
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