特許

J-GLOBAL ID：200903060668151173

基板取り離し装置およびそれを用いた基板取り離し方法

発明者： 山崎 文男 ,  橋本 司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-230588
公開番号（公開出願番号）：特開平11-059895
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】 焼成済みの基板を、載置している支持基板から機械的方法できずをつけず簡単に取り離す。【解決手段】 基板1の長辺側の外周端部1aに相対向してすくい上げブロック4を配設するとともに、すくい上げブロック4に併設して加圧した気体を噴射する気体噴射手段11を設ける。気体噴射手段11からパイプ12を通して加圧した気体を基板1の外周端部1aに噴射して基板1の端部を浮上させた後、すくい上げブロック4を基板1の下側に挿入する。その後すくい上げブロック4を上方に移動させて、支持基板2から基板1を取り離す。

請求項（抜粋）：

基板を載置するための支持手段と、前記基板の端部に気体を噴射することにより、前記基板を前記支持手段から浮かせるための気体噴射手段と、この浮いた基板の下側に先端部を挿入することにより、前記基板をすくい上げるための基板すくい上げ手段と、前記基板すくい上げ手段を移動させることにより、前記基板を前記支持手段から取り離すための駆動手段とを有することを特徴とする基板取り離し装置。

IPC (2件)：

B65G 49/06 ,  H01J 9/46

FI (2件)：

B65G 49/06 Z ,  H01J 9/46 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 積層した板状素材の剥離方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-118727   出願人：株式会社新潟鉄工所
• 物品把持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-148476   出願人：株式会社ダイフク
• 折丁仕分け装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-013822   出願人：凸版印刷株式会社
• 特開平2-270735