特許

J-GLOBAL ID：200903060707196228

ダイシングドレステーブル構造及びダイサ

発明者： 井口 修一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 村上 友一 ,  大久保 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-352874
公開番号（公開出願番号）：特開2006-159334
出願日： 2004年12月06日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】 ダイシングブレードをドレッシングした際の切り込み量を正確に把握することができるダイシングドレステーブル構造を提供する。【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明では、ダイサ10のダイシングブレード30をドレッシングするために備えられるドレッサーボード22を載置するダイシングドレステーブルの構造を次のようなものとした。すなわち、前記ダイサ10に備えられて被切削物20をチャックするチャックテーブル14と前記ダイシングドレステーブル16とを一つの部材12によって形成し、双方のテーブルの表面を同一研磨することで、前記チャックテーブル14の表面と前記ドレステーブル16の表面との平面高さを合わせるようにした構造である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ダイサのダイシングブレードをドレッシングするために備えられるドレッサーボードを載置するダイシングドレステーブルの構造であって、 前記ダイサに備えられて被切削物をチャックするチャックテーブルと前記ダイシングドレステーブルとを一つの部材、又は複数の部材を接合して一体構造とすることによって形成し、 双方のテーブルの表面を同一研磨することで、前記チャックテーブルの表面と前記ドレステーブルの表面との平面高さを合わせたことを特徴とするダイシングドレステーブル構造。

IPC (2件)：

B24B 53/00 ,  H01L 21/301

FI (2件)：

B24B53/00 K ,  H01L21/78 F

Fターム (2件)：

3C047AA16 ,  3C047AA32

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 切削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-210719   出願人：株式会社ディスコ