特許
J-GLOBAL ID：200903060800524987
マイクロアクチュエータ素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-236232
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141569
出願日： 2001年08月03日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：
【要約】【課題】 切断面に遊離した粒子が付着露呈されず、且つヘッド支持装置の駆動用に使用しても遊離し易い粒子が脱粒されずに製造時の製品表面における仕上がり状態が良好となるマイクロアクチュエータ素子を提供すること。【解決手段】 マイクロアクチュエータ素子2の切り出しによる切断面に、切断により発生した粒子の離脱を防止するための脱粒防止処理を施す。マイクロアクチュエータ素子は、圧電体及び内部電極が交互に積層されている積層体からなり、この積層体が上述の切断面を有したものでもよい。さらに、マイクロアクチュエータ素子を、固定されるベースプレート3とヘッド4を支持するための支持バネ5との間に搭載し、少なくともマイクロアクチュエータ素子とベースプレート及び支持バネのうちマイクロアクチュエータ素子の近傍部分とを纏めて被覆膜で被覆することは好ましい。
請求項（抜粋）：
切り出しによる切断面を有しているマイクロアクチュエータ素子において、前記切断面は、切断により発生した粒子の離脱を防止するための脱粒防止処理が施されていることを特徴とするマイクロアクチュエータ素子。
IPC (6件)：
H01L 41/083
, G11B 21/10
, G11B 21/21
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H02N 2/00
G11B 21/10 N
, G11B 21/21 C
, H02N 2/00 B
, H01L 41/08 S
, H01L 41/08 U
, H01L 41/22 Z
5D059AA01
, 5D059BA01
, 5D059CA25
, 5D059CA26
, 5D059DA11
, 5D059DA31
, 5D059DA36
, 5D059EA01
, 5D096NN03
, 5D096NN07
