特許
J-GLOBAL ID：200903060849072550

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、それらの製造方法およびプリンタ

発明者：
邱 宏

邱 宏 について

, 
村井 正己

村井 正己 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108166
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299512
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：
【要約】【課題】 強い変形があっても破壊しにくく、かつ、バラツキの少ない、信頼性の高い圧電体素子およびこの圧電体素子を適用した製品を提供する。【解決手段】 本発明では、従来よりも低い成膜レートで白金をスパッタする工程(S2)を設けている。これにより、製造される電極の結晶粒径が微細なものになる。塑性変形しにくく降伏点が高い電極が提供されることに成るので、圧電体素子やその応用製品の信頼性を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
電気機械変換作用を示す圧電体素子において、平均結晶粒径が30nmより小さい電極を備えていることを特徴とする圧電体素子。
IPC (4件)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/22
FI (3件)：
H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/22 Z
Fターム (9件)：
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP11 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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