特許
J-GLOBAL ID:200903060851359506

基板仕分け装置を備えた荷保管設備

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森本 義弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-076994
公開番号(公開出願番号):特開平8-268512
出願日: 1995年04月03日
公開日(公表日): 1996年10月15日
要約:
【要約】【目的】 無人化を達成でき、歩留りを改善できる基板仕分け装置を備えた荷保管設備を提供する。【構成】 仕分け元となる異なるタイプの複数の基板を収納した実カセット3Aを載置する仕分け元ステージと、タイプ別仕分け先となる空カセット3Bを載置する複数のタイプ別仕分けステージを配置した架台23と、実カセット3Aから、ガラス基板を各基板の情報に基づいて空カセット3Bに仕分ける搬送ロボット25と、カセット3を収納する棚4と、実カセット3Aと空カセット3Bを架台23の各ステージに供給する出し入れ装置11を備える。【効果】 作業員の存在を無くすことができ、またガラス基板のカセット3の取扱が自動化されることにより、作業員によるガラス基板の損傷を無くすことができ、またガラス基板とカセット3の情報を自動管理することができる。
請求項(抜粋):
異なるタイプの複数の基板を、これら各基板の情報に基づいてタイプ別に仕分ける基板仕分け装置と、前記基板を収納するカセットを保管する複数のカセット収納部を有する棚と、前記カセットの入出庫を行う搬入出装置を備えた荷保管設備であって、前記基板仕分け装置を、仕分け元となる異なるタイプの複数の基板を収納した実カセットを載置する仕分け元ステージと、タイプ別仕分け先となる空カセットを載置する複数のタイプ別仕分けステージを配置した架台と、前記実カセットから、基板を前記各基板の情報に基づいて前記空カセットに仕分ける基板出し入れ装置と、から構成し、前記搬入出装置により、前記棚のカセット収納部と架台のステージ間で前記カセットの搬入出を行うことを特徴とする基板仕分け装置を備えた荷保管設備。
IPC (4件):
B65G 1/137 ,  B65G 1/00 501 ,  B65G 47/49 ,  B65G 49/07
FI (4件):
B65G 1/137 A ,  B65G 1/00 501 A ,  B65G 47/49 ,  B65G 49/07 C
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭62-121106
  • 特開平4-129926
  • クリーンルーム用保管庫
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-012311   出願人:神鋼電機株式会社
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