分光測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-149577
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313344
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】二次元領域の分光測定において、試料の載置の方向に拘らずに同一小領域に対して同一測定結果を得る。【構成】光検出器16による検出信号は、A/D変換器20にてデジタル信号に変換されメモリ21に記憶される。信号処理部22では、或るデータに対応する試料11上での小領域の近傍に位置する複数の小領域を測定した複数のデータを用いて、中心のデータ値が修正される。【効果】試料11上のX軸及びY軸方向の分解能を等しくできる。

請求項（抜粋）：

試料の二次元領域を分光測定するための分光測定装置であって、複数の受光素子が二次元的に配置された光検出器上の一つの次元方向に該試料のスリット長手方向に対応した像が投影され、他の次元方向に光が波長に応じて分散するように光学系が構成され、該試料をスリット長手方向と直向する方向に移動しつつ分光測定を実行することにより該試料の二次元領域を格子状に区分した小領域毎に分光強度分布を測定する分光測定装置において、a)前記光検出器を構成する受光素子により検出された信号をデジタル信号に変換しデータとして出力する変換手段と、b)前記変換手段から出力される各データに対し、該データと同一の波長であって、且つ前記試料上において該データに対応する小領域の近傍に位置している複数の小領域を分光測定した結果である複数のデータを用いて、該データ値を修正する演算手段と、を備えることを特徴とする分光測定装置。

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭58-129333
特開昭58-129333
特開昭58-129333

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