観察装置及びその倍率調整方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353956
公開番号（公開出願番号）：特開平11-185688
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、電子顕微鏡等の観察装置の倍率を校正する際に標準試料を用いた倍率調整処理を行うことなく、観察対象の試料の観察中にも倍率の校正を行うことができる観察装置及びその倍率調整方法を提供することを課題とする。【解決手段】観察装置は、観察試料を任意の倍率で観察する顕微鏡と、電子顕微鏡に対する観察試料の相対的な位置関係を任意に変化させるステージと、観察試料が搭載されたステージの位置を検出するスケールと、電子顕微鏡により観察された試料を所定の倍率で拡大表示するモニターと、電子顕微鏡の走査偏向器を調整することにより、ステージ上の観察試料に対する観察倍率を任意に設定する倍率調整部と、観察試料の画像情報のモニターへの拡大表示、ステージの移動制御、スケールによるステージ位置の変化量の計測、電子顕微鏡の倍率制御倍率調整のための演算処理を実行するコントローラと、を有して構成されている。

請求項（抜粋）：

前記観察対象物の形状を画像情報として認識する観察手段と、前記観察対象物と前記観察手段との相対的な位置関係を任意に変化させる移動手段と、前記移動手段による前記位置関係を計測する計測手段と、前記観察手段により観察された前記観察対象物の画像情報を表示する表示手段と、前記観察手段を操作して前記表示手段に表示される前記観察対象物の倍率を任意に設定する倍率調整手段と、前記表示手段上に表示された任意の画像の座標間寸法と、前記計測手段により計測された、該画像の座標間寸法に相当する前記位置関係とに基づいて、前記表示手段に表示された前記観察対象物の表示倍率を算出する演算手段と、前記演算手段により算出された表示倍率と、前記倍率調整手段により設定された倍率とを比較して、一致させる制御手段と、を具備することを特徴とする観察装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 501 , H01J 37/22 502 , G02B 21/36

FI (3件)：

H01J 37/22 501 H , H01J 37/22 502 C , G02B 21/36

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-262908
特開昭58-073949
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-019866 出願人：株式会社日立製作所

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