記録媒体反転機構

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯塚義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-125603
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315320
出願日： 1999年05月06日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】簡単な機械的構成により効率的に盤状の記録媒体を表裏反転することのできる記録媒体反転機構の提供。【解決手段】記録媒体を保持する保持手段の回動に応じて変位するカムと、カムの変位に追従して保持手段を上下動させ、記録媒体の反転動作の妨げとならないように該保持手段を回避するカム追従部とを設ける。回動手段は、保持手段を回動してディスクの表裏反転を行う。この際、回動手段を精密に制御して回動動作させなくても、カムが変位して所定位置に保持手段とカム追従部とを位置付ける。すなわち、保持手段を精密に180度回動動作させることなく所定の範囲内で回動動作を停止することにより、カムが自然に変位して保持手段及びカム追従部を回動動作終了時の停止位置から所定位置に位置付けて、記録媒体を精密に180度反転(表裏反転)した状態とする。

請求項（抜粋）：

盤状の記録媒体を表裏反転するための記録媒体反転機構であって、前記記録媒体を保持するための保持手段と、前記記録媒体を表裏反転させるために前記保持手段を回動する回動手段と、前記保持手段の回動に応じて変位するカムと、前記カムの変位に追従して前記保持手段を上下動させ、前記記録媒体の反転動作の妨げとならないように該保持手段を回避するカム追従部とを具備してなり、前記回動手段による回動動作が終了した際に、前記カムが変位して前記保持手段と前記カム追従部とを所定位置に位置付けることを特徴とする記録媒体反転機構。

IPC (2件)：

G11B 5/84 , G11B 7/26

FI (2件)：

G11B 5/84 Z , G11B 7/26

Fターム (4件)：

5D112AA24 , 5D112JJ03 , 5D112KK06 , 5D121HH18

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-101949
特開昭57-085300
ウエハ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-269734 出願人：株式会社ニコン

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