特許
J-GLOBAL ID：200903067827163824
ウエハ検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-269734
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116869
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】検査員が各マクロ検査毎に視点を変える必要がなく、且つウエハ周縁部やウエハ表面を傷つけることがないウエハ検査装置を提供する。【解決手段】表面を上側にして載置されたウエハを保持するウエハ保持アームと、ウエハの平面上に与えられた回転軸を中心にウエハ保持アームを回転させる回転手段と、ウエハ保持アームを上昇させる上昇手段とを備え、ウエハ保持アームが上昇しながら回転軸を中心に回転することを特徴とするウエハ検査装置が提供される。また、前記回転手段は、前記上昇手段によって上昇され、前記回転手段の上昇を前記ウエハ保持アームの回転運動に変換する変換手段を有していてもよい。
請求項（抜粋）：
ウエハを保持するウエハ保持アームと、該ウエハの平面上に与えられた回転軸を中心に前記ウエハ保持アームを回転させる回転手段と、前記ウエハ保持アームを上昇させる上昇手段とを備え、前記ウエハ保持アームが上昇しながら前記回転軸を中心に回転することを特徴とするウエハ検査装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, H01L 21/68
, G01N 1/28
H01L 21/66 J
, G01N 21/88 E
, H01L 21/68 A
, G01N 1/28 X
