特許
J-GLOBAL ID：200903061003635630

共振素子

発明者：
川合 浩史

川合 浩史 について

, 
大和田 邦樹

大和田 邦樹 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-344648
公開番号（公開出願番号）：特開2001-082964
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 振動させる平面振動体の振動方向と検出方向の共振周波数の差が小さく、検出方向の平面振動体のぶれも小さい共振素子を提供する。【解決手段】 X,Z二次元平面方向を基板面方向とした基板1に浮いた状態で重り部2からなる平面振動体10を配置し、基板1に支持梁3を介して平面振動体10をX方向の振動が可能に支持し、励振器4により平面振動体10をX方向に振動させる。平面振動体10の振動方向の共振周波数を検出方向の共振周波数より少し低めに設計する。X,Z二次元平面方向に直交するY方向に平面振動体10の面と間隔を介した基板1の面には、X方向に間隔を介した平面振動体10の両端縁部領域に、平面振動体10に静電引力21,22を付与して平面振動体10の検出方向の共振周波数を調整し、かつ、基板1の基板面方向に対する平面振動体10の傾きを補正するための導電層23,24を設ける。
請求項（抜粋）：
X,Z二次元平面方向を基板面方向とした固定基板に浮いた状態で重り部が配置され、該重り部を備えた平面振動体が前記固定基板に支持梁を介してX方向の振動が可能に支持されており、前記平面振動体をX方向に振動する励振器が設けられており、前記X,Z二次元平面方向に直交するY方向に前記平面振動体の面と間隔を介した対向面側には前記X方向に間隔を介した少なくとも平面振動体の両端縁部領域に、該平面振動体に静電引力を付与して平面振動体の共振周波数を調整し、前記固定基板の基板面方向に対する平面振動体の傾きを補正する振動体傾き補正手段が設けられていることを特徴とする共振素子。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 9/02
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 9/02 M
Fターム (11件)：
2F105BB02 ,  2F105BB03 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  5J108AA02 ,  5J108AA07 ,  5J108AA09
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-230236   出願人：株式会社村田製作所
  • 振動式角速度検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-314460   出願人：株式会社豊田中央研究所

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