角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-230236
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064001
出願日： 1997年08月12日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【目的】 X,Y二次元平面のY軸回りの回転角速度を正確に検出可能な角速度センサを提供する。【解決手段】平面振動体3は直角四辺形状の枠体6の内側に連結梁4を介して重り振動体5を連結した結合体により構成し、支持梁8でX方向に振動可能に支持する。枠体6の外端部に移動電極11A,11Bを突設し、その対向側に固定電極13A,13Bを設ける。重り振動体5は垂直移動側電極とし、その対向側に下部電極16を設ける。連結梁4は重り振動体5の検出振動方向となるZ軸方向の剛性を平面振動体3の振動方向であるX方向の剛性よりも小さく形成し、支持梁8はX方向の剛性をZ軸方向の剛性よりも小さく形成することで、平面振動体3をX方向に励振させてY軸回りの回転によりZ軸方向のコリオリ力が発生したとき、平面振動体3の重り振動体5だけがZ軸方向に振動し、Y軸回りの角速度を検知する。

請求項（抜粋）：

枠体の内側に連結梁を介して重り振動体が連結されて枠体と重り振動体の結合体によって平面振動体が形成され、この平面振動体は固定基板に支持梁を介してX,Y二次元平面のX方向の振動が可能に支持されており、前記枠体の外端部には移動電極が設けられ、固定基板側には該移動電極と間隔を介して固定電極が設けられ、また、前記重り振動体には垂直移動側電極が設けられるとともに該垂直移動側電極と間隔を介した対向側には固定対向電極が設けられ、前記移動電極と固定電極の組は平面振動体を静電力によってX方向に振動させる励振電極として構成され、前記垂直移動側電極と固定対向電極の組はY軸回りの回転の角速度変化に対応する重り振動体の前記X,Y平面に垂直なZ軸方向の振動振幅を検出するY軸回り角速度検出電極として構成され、前記連結梁は前記重り振動体の検出振動方向となるZ軸方向の剛性が平面振動体の振動方向であるX方向の剛性よりも小さく形成され、前記支持梁は前記平面振動体の振動方向であるX方向の剛性が前記重り振動体の検出振動方向となるZ軸方向の剛性よりも小さく形成されていることを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (6件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-340439 出願人：株式会社村田製作所
振動ジャイロセンサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-292586 出願人：住友精密工業株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-142764 出願人：キヤノン株式会社

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