特許
J-GLOBAL ID：200903061017281377

硬質炭素被膜部材の製造方法

発明者：
福井 治世

福井 治世 について

, 
織田 一彦

織田 一彦 について


出願人/特許権者：
日本アイ・ティ・エフ株式会社

日本アイ・ティ・エフ株式会社 について

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住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115145
公開番号（公開出願番号）：特開平11-302846
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】【課題】 使用の当初の摩擦係数を低下させることにより、安定した摺動特性を長時間有する硬質炭素被膜を形成しようとするものである。【解決手段】 炭化水素系ガスを用いたプラズマ気相合成法によって硬質炭素被膜を形成した基材に、ガスプラズマによるボンバード処理によって表面処理を行う。
請求項（抜粋）：
炭化水素系ガスを用いたプラズマ気相合成法によって硬質炭素被膜を形成した基材に、ガスプラズマによるボンバード処理によって表面処理を行う硬質炭素被膜部材の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00
FI (3件)：
C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 Z
引用特許：
出願人引用 (8件)
  • 加熱ローラ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-006352   出願人：シチズン時計株式会社
  • 動圧軸受装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-274187   出願人：キヤノン株式会社
  • 特開平3-061369
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審査官引用 (9件)
  • 微小機械部品及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-065910   出願人：住友電気工業株式会社
  • 加熱ローラ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-006352   出願人：シチズン時計株式会社
  • 動圧軸受装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-274187   出願人：キヤノン株式会社
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