硬質炭素被膜部材の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鎌田文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115145
公開番号（公開出願番号）：特開平11-302846
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：

【要約】【課題】使用の当初の摩擦係数を低下させることにより、安定した摺動特性を長時間有する硬質炭素被膜を形成しようとするものである。【解決手段】炭化水素系ガスを用いたプラズマ気相合成法によって硬質炭素被膜を形成した基材に、ガスプラズマによるボンバード処理によって表面処理を行う。

請求項（抜粋）：

炭化水素系ガスを用いたプラズマ気相合成法によって硬質炭素被膜を形成した基材に、ガスプラズマによるボンバード処理によって表面処理を行う硬質炭素被膜部材の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 16/26 , C23C 16/50 , C23F 4/00

FI (3件)：

C23C 16/26 , C23C 16/50 , C23F 4/00 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

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