特許

J-GLOBAL ID：200903061024468903

圧力センサー

発明者： 角 貞幸 ,  高見 茂成 ,  井上 智広
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-012356
公開番号（公開出願番号）：特開平9-203676
出願日： 1996年01月26日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】小型化,省実装面積化を図った圧力センサーを提供する。【解決手段】センサー本体1は、三次元立体配線基板( Molded Circuit Board) として形成されており、センサー本体1の表面にはセンサーチップ4aを実装するための凹所12が形成され、裏面にはセンサーチップ4a下面の凹部4bに圧力を導入するための圧力導入口14が形成されている。また、センサー本体1の表面及び裏面には、第1及び第2の電極2a,2bがそれぞれ形成されており、センサー本体1の側面に形成された配線(図示せず)によって接続されている。ここで、凹所12の内側壁面には例えば60°の斜面11が形成されており、斜面11上には第1及び第2の電極2a,2b間の配線パターン17が形成され、ワイヤ5を用いてセンサーチップ4aに接続されている。

請求項（抜粋）：

三次元立体回路基板としてセンサー本体を形成し、前記センサー本体の表面にセンサーチップを実装するための凹所を形成し、前記凹所の内側面に略60度以上90度未満の斜度を有する配線用の斜面を形成するとともに、前記センサー本体の表裏両面に設けられた電極間の配線パターンを前記斜面上に形成して成ることを特徴とする圧力センサー。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 101

FI (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 101

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-067277   出願人：シャープ株式会社