粉塵処理装置および粉塵処理装置を装備した加工機

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小野尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-158763
公開番号（公開出願番号）：特開2004-001118
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】粉塵を処理する際に飛散させることなく、且つ安全に処理することができる粉塵処理装置および粉塵処理装置を提供する。【解決手段】粉塵処理装置は、外筒と該外筒内に配設され該外筒との間に分離室を形成する内筒とからなサイクロン式分離手段83と、サイクロン式分離手段83の該外筒の内周面および内筒の外周面に向けて水を噴射するシャワー手段84と、サイクロン式分離手段83によって分離された粉塵および噴霧手段に洗い流された粉塵とからなる廃液を収容する廃液収容手段85と、廃液収容手段85に収容された廃液を排出するドレン手段と、サイクロン式分離手段83の内筒内に配設されサイクロン式分離手段83によって粉塵と分離されたエアーを濾過するフィルター手段86と、フィルター手段86によって濾過されたエアーを排気する排気手段とを具備している。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

含塵エアー取り入れ口を上部に備えた外筒と該外筒内に配設され該外筒との間に分離室を形成する内筒とからなり、該含塵エアー取り入れ口から該分離室に流入された含塵エアーを旋回せしめて粉塵とエアーとに分離するサイクロン式分離手段と、該サイクロン式分離手段の該外筒の内周面および該内筒の外周面に向けて水を噴射し該外筒の内周面および該内筒の外周面に付着した粉塵を洗い流すシャワー手段と、該サイクロン式分離手段によって分離された粉塵および該噴霧手段に洗い流された粉塵とからなる廃液を収容する廃液収容手段と、該廃液収容手段に収容された廃液を排出するドレン手段と、該サイクロン式分離手段の該内筒内に配設され該サイクロン式分離手段によって粉塵と分離されたエアーを濾過するフィルター手段と、該フィルター手段によって濾過されたエアーを排気する排気手段と、を具備している、ことを特徴とする粉塵処理装置。

IPC (8件)：

B24B55/06 , B04C5/103 , B04C5/12 , B04C5/14 , B04C5/23 , B04C9/00 , B23Q11/00 , H01L21/304

FI (8件)：

B24B55/06 , B04C5/103 , B04C5/12 A , B04C5/14 , B04C5/23 , B04C9/00 , B23Q11/00 K , H01L21/304 622Z

Fターム (14件)：

3C047FF04 , 3C047HH12 , 4D053AA03 , 4D053AB01 , 4D053BA01 , 4D053BB07 , 4D053BC01 , 4D053BD04 , 4D053CB13 , 4D053CC05 , 4D053CD25 , 4D053CD27 , 4D053CE05 , 4D053DA10

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭63-137731
特開昭57-165052
水洗い可能な集塵装置および空気処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-080224 出願人：株式会社ワイ・エム・エス

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