特許
J-GLOBAL ID：200903061040848635

ラッピング装置及びラッピング方法

発明者：
須藤 浩二

須藤 浩二 について

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柳田 芳明

柳田 芳明 について

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杉山 友一

杉山 友一 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 林 恒徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108334
公開番号（公開出願番号）：特開2000-296456
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：
【要約】【課題】 ラッピング加工するためのワークのそりを修正するラッピング方法及びその装置に関し、ラッピング加工中に、ワークのそりを修正する。【解決手段】 加工中に、ワーク103のそり量を検出して、ワークのそり量を修正するようにした。このため、加工中に生じるそりも、修正することができる。又、加工前に、ワーク103のそり量を測定する手間を省くことができる。そりの矯正機構116に、空気供給圧力に応じて、ワークに圧力を付与する空圧機構を用いた。このため、微小なそり量の修正が可能となり、そり量をゼロにする制御が可能となる。又、空圧機構のため、ラップ治具に過度の圧力を付与することを防止できる。
請求項（抜粋）：
ワークの高さを所定値にラッピングするラッピング方法において、前記ワークのそり量を検出するステップと、前記ワークのそりを矯正するため、流体圧力に応じて、前記ワークに与える圧力を可変できる矯正機構の加圧力を、前記検出されたそり量が目標値になるように、制御するステップとを有することを特徴とするラッピング方法。
Fターム (11件)：
3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058AC02 ,  3C058BA07 ,  3C058BB02 ,  3C058BB04 ,  3C058BB09 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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