特許
J-GLOBAL ID:200903061070679544
磁気センサ
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-177176
公開番号(公開出願番号):特開2006-003116
出願日: 2004年06月15日
公開日(公表日): 2006年01月05日
要約:
【課題】 方位検出に関して高い感度を有し、小型で量産性にも優れた3軸磁気センサを提供する。【解決手段】 直交する2軸を含む面方向に感度を有するように形成された磁気抵抗効果素子を備えた2軸磁気センサ部と、2軸磁気センサ部に前記直交2軸を含む面から突出するように設けられ、前記直交2軸と直交する第3軸方向の磁気成分を、直交2軸を含む面方向に曲げて前記2軸磁気センサ部で検知させる磁性部材と、前記磁気抵抗効果素子の抵抗値をもとに3軸方向の出力を検出する信号処理手段とを有することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
直交する2軸を含む面方向に感度を有するように形成された磁気抵抗効果素子を備えた2軸磁気センサ部と、2軸磁気センサ部に前記直交2軸を含む面から突出するように設けられ、前記直交2軸と直交する第3軸方向の磁気成分を、直交2軸を含む面方向に曲げて前記2軸磁気センサ部で検知させる磁性部材と、前記磁気抵抗効果素子の抵抗値をもとに3軸方向の出力を検出する信号処理手段とを有することを特徴とする磁気センサ。
IPC (4件):
G01R 33/09
, G01C 17/30
, H01L 43/02
, H01L 43/08
FI (4件):
G01R33/06 R
, G01C17/30 A
, H01L43/02 Z
, H01L43/08 Z
Fターム (5件):
2G017AA16
, 2G017AC07
, 2G017AC09
, 2G017AD54
, 2G017BA15
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
集積化方位センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-374890
出願人:旭化成株式会社
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