集積化方位センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-374890
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172633
出願日： 2001年12月07日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】方位検出および姿勢検出が可能であって、携帯機器に搭載できるようにした小型の集積化方位センサの提供。【解決手段】この発明は、重力加速度を検出する加速度センサ3と、地磁気を検出する磁気センサ4と、加速度センサ3からの加速度情報および磁気センサ4からの磁気情報を演算処理する演算処理部6とを備えたものである。加速度センサ3は、ガラス台5に固定される支持体8と、重り部7と、この重り部7を可動自在に支持体8に支持させる梁31〜38等から構成される。加速度センサ3を構成する重り部7上の所定位置には、磁気センサ4および演算処理部6がそれぞれ配置されている。このように、この発明は、加速度センサ3を構成する重り部7の一部に、磁気センサ4および演算処理部6を組み込むようにし、全体として小型化を図るようにしたものである。

請求項（抜粋）：

地磁気を検出する少なくとも3軸の磁気センサと、重力加速度を検出する2軸以上の加速度センサと、前記磁気センサからの出力信号および前記加速度センサからの出力信号を処理する信号処理部とを備え、前記加速度センサは、シリコン基板からなり固定された支持体と、シリコン基板からなる重り部と、この重り部を可動自在に前記支持体に支持させる梁と、を少なくとも備え、前記磁気センサおよび前記信号処理部を、前記支持体上および前記重り部上のいずれか一方に配置し、または前記支持体上と前記重り部上に分散配置するようにしたことを特徴とする集積化方位センサ。

IPC (2件)：

G01C 21/08 , G01C 21/10

FI (2件)：

G01C 21/08 , G01C 21/10

Fターム (4件)：

2F029AA07 , 2F029AB03 , 2F029AC04 , 2F029AD01

引用特許：

出願人引用 (8件)

圧電検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-070273 出願人：三菱電機株式会社
位置検出装置および傾斜センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-173811 出願人：セイコー電子工業株式会社
半導体加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-045402 出願人：株式会社デンソー

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