トレイ搬送式インライン成膜装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：保立浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-119749
公開番号（公開出願番号）：特開平9-279341
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】トレイの大気開放をなくして大気中の水分等のトレイへの付着を防止するとともに、基板加熱の際の時間やエネルギーロスを減少させる。【解決手段】基板1の搬送の順に基板搬入チャンバー44、成膜チャンバー42、基板搬出チャンバー45が縦設されており、基板1は、トレイ搬送系によって成膜チャンバー42内で循環するトレイ1に載せられて成膜手段により成膜される。基板1は搬入側基板搬送系6によって基板搭載位置に送られ、搬出側基板搬送系7によって基板回収位置から搬出される。トレイ搬送系は、基板搭載位置に配設された搭載側受け板機構31、搭載側トレイ搬送機構32及び搭載側垂直移動機構33と、基板搭載位置から基板回収位置までトレイを搬送する往路搬送機構34と、基板回収位置に配設された回収側受け板機構35、回収側垂直移動機構36及び回収側トレイ搬送機構37と、基板回収位置から基板搭載位置にトレイ1を戻す復路搬送機構38とによって構成されている。

請求項（抜粋）：

基板の表面に所定の薄膜を作成する成膜手段を備えた成膜チャンバーと、大気側から成膜チャンバーに基板を搬入する際に基板が一時的に配置される基板搬入チャンバーと、成膜された基板を大気側に搬出する際に基板が一時的に配置される基板搬出チャンバーとを含む複数の真空チャンバーを基板の搬送の方向に沿って縦設し、基板を水平に載せたトレイを搬送ラインに沿って搬送して成膜を行うトレイ搬送式インライン成膜装置であって、トレイへの基板の搭載及びトレイからの基板の回収の動作の際に大気に開放されない前記成膜チャンバー又は成膜チャンバーを含む複数の真空チャンバー内を通過するようにして一つ又は複数のトレイを無終端状のトレイ搬送ラインに沿って循環させて搬送するトレイ搬送系と、トレイ搬送ライン上の基板搭載位置に基板搬入チャンバーから基板を搬送する搬入側基板搬送系と、トレイ搬送ライン上の基板回収位置から基板搬出チャンバーまで基板を搬送する搬出側基板搬送系とを具備し、基板搭載位置で基板がトレイに搭載されて基板回収位置まで搬送される間に当該トレイは前記成膜チャンバー中に位置して基板が成膜されるとともに、当該トレイは基板回収位置で基板が回収された後に基板搭載位置まで戻るよう構成されていることを特徴とするトレイ搬送式インライン成膜装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特公昭59-010574
特公昭59-010574
特表昭63-500936

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