特許

J-GLOBAL ID：200903061075247456

メタルマスクの基板への保持固定構造、保持固定治具、その補助具、及びトレイ

発明者： 廣島 實 ,  杉谷 智行 ,  佐々木 寛 ,  磯田 高志 ,  飯尾 逸史 ,  筑後 了治 ,  伊丹 哲
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社 ,  住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225677
公開番号（公開出願番号）：特開2001-049422
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】 基板表面に傷を付けることなく、メタルマスクを安定して保持固定することができるメタルマスクの保持固定構造を提供する。【解決手段】 固定板10は、枠体11と、それに埋め込まれた複数の磁石12とを有する。磁石は、直方体形板状磁石であって、板厚方向に磁化されている。そして、磁石は、互いに磁化方向が逆向きの2つを1組として、各組単位で枠体の各辺に埋め込まれている。埋め込みは、その長さ方向が、枠体の外縁と平行になるよう行なわれ、かつ磁石が枠体の外縁に沿って実質上連続するように行なわれている。

請求項（抜粋）：

基板の表面側に配置されたメタルマスクを、前記基板の裏面側に配置された固定板に取り付けられた磁石で吸引して、前記メタルマスクを前記基板の表面に密着させるメタルマスクの基板への保持固定構造において、前記磁石が、前記固定板の外縁に沿って、実質上連続して配置されていることを特徴とするメタルマスクの基板への保持固定構造。

Fターム (3件)：

4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029KA02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 金属箔マスク用磁力保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-107478   出願人：バルツェルス・ホーホバークウム・アクチェンゲゼルシャフト
• 特開平3-036267
  
• 特開昭51-061782