特許
J-GLOBAL ID：200903038525827081
金属箔マスク用磁力保持装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-107478
公開番号（公開出願番号）：特開平10-317139
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：
【要約】【課題】 強磁性体よりなる金属製の箔状のマスク(2)を基板(6)上に保持するための金属箔マスク用磁力保持装置。【解決手段】 マスクは基板保持板(1)上の基板を蒸着すべき側に置かれる。基板背面の磁石枠構造体(7)には、永久磁石(8)がマスクの周縁部の桟部とに対応する位置に収められて、マスクを基板に押付け、しかもこれら磁石は基板背面には接触しない。マスク(2)と磁石枠構造体(7)は、基板保持板上の位置決めピン(10,14)と、マスクおよび磁石枠構造体(7)内の対応する切抜き孔(11,12,15,16)によって基板保持板に位置を合わせて固定される。基板保持板に着脱可能に取付けられた追加の永久磁石(9)によってマスクの交換は容易になされる。
請求項（抜粋）：
強磁性体よりなる薄い箔状の金属製マスク(2)を平坦な基板上に保持するための、前記基板を、少なくとも1つの窓状開口部(3)を有する前記マスクと、磁石枠構造体(7)の中に保持された少なくとも1つの永久磁石(8)との間に置くことによりなる装置であって、前記マスク(2)が基板保持板(1)の上に位置すること、マスクの窓状開口部(3)が窓状開口部以外の部分より大きいこと、および永久磁石(8)が基板の背面に接触することなく前記磁石枠構造体(7)の凹部に収まっていることを特徴とする金属箔マスク用磁力保持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/50 F
, C23C 16/04
