特許
J-GLOBAL ID：200903061085467594
液体塗布方法および液体塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-296941
公開番号（公開出願番号）：特開平11-128815
出願日： 1997年10月29日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：
【要約】【課題】 ポンプストローク時間が異なって、塗布膜厚が変動する。【解決手段】 ポンプ7を用いて液体を送り、液体3を塗布する液体塗布方法において、ポンプ7のポンプストローク時間を監視し、ポンプストローク時間が設定値に対してズレを生じた場合に、ポンプストローク時間が設定値になるように自動制御する。塗布すべき液体3を送るためのポンプ7と、ポンプ7を駆動するスピードコントローラー8,9と、ポンプ7のポンプストローク時間を監視し、ポンプストローク時間が設定値に対してズレを生じた場合、スピードコントローラー8,9に流れ込むエアーの流量を自動調節し、ポンプストローク時間が設定値になるように自動制御する手段12,13と、を有する。
請求項（抜粋）：
ポンプを用いて液体を送り、該液体を塗布する液体塗布方法において、該ポンプのポンプストローク時間を監視し、該ポンプストローク時間が設定値に対してズレを生じた場合に、該ポンプストローク時間が該設定値になるように自動制御することを特徴とする液体塗布方法。
IPC (5件)：
B05C 11/10
, B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16
, H01L 21/027
B05C 11/10
, B05C 11/08
, B05D 1/40 A
, G03F 7/16
, H01L 21/30 564 Z
