特許
J-GLOBAL ID：200903061119704507
ステッパレンズの収差測定パターンおよびステッパレンズの収差特性評価方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-250468
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074606
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 ステッパレンズの収差特性評価を光学測長機を用いて,高感度に短時間で測定することを可能としたステッパレンズの収差測定用パターンを提供すること。【解決手段】 矩形パターン41は,ステッパあるいは光学測長機で分離解像しない幅を有するラインアンドスペースパターン42と接合している。複数のこの接合パターンを,ステッパ及び光学測長機で充分分離解像する間隔43を保ち,ラインアンドスペースパターン42を外側にして対称的に配置する。これをステッパを用いてウェハ上に転写,形成すると,その幅寸法のため,ラインアンドスペース部の外縁部の形状は直線的な形状となり,光学測長機での測定が可能となり,収差成分の評価ができる。また,ラインアンドスペース部の先端は露光条件の変化や収差に対して敏感にその形状が変化するため,感度の高い測定方法となる。
請求項（抜粋）：
ステッパレンズの収差特性評価に用いるパターンであって,光学測長機視野上で分離解像不能な寸法を短手方向幅として有する複数のラインパターンから成るラインアンドスペース型の第1パターンと光学測長機視野上で分離解像可能な外形寸法を有する略矩形形状の第2パターンとを略櫛形状に接合して成る少なくとも2の接合パターンを,光学測長機上で分離解像可能な寸法の間隔を相互に空けて,前記第1パターンのライン部が外側を向いて相互に対称な位置関係になるように配置したことを特徴とする,ステッパレンズの収差測定パターン。
IPC (3件)：
G01M 11/02
, G01B 11/00
, H01L 21/027
G01M 11/02 B
, G01B 11/00 Z
, H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 516 A
2F065AA03
, 2F065AA54
, 2F065CC22
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065LL25
, 2F065PP24
, 2F065QQ25
, 2G086HH06
, 5F046AA25
, 5F046CB17
, 5F046DA13
