特許
J-GLOBAL ID：200903061124745947
粒子線装置による試料の化合物判定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073384
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266700
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 試料の未知化合物を自動的に判定することができると共に、未登録の化合物として判定されたときは、以降の判定において判定データとして用いることができるようにした粒子線装置による化合物判定方法を提供する。【解決手段】 EPMA等の粒子線装置による試料の定量分析により未知化合物の化学組成を求めるステップと、該ステップにより得られた化学組成と化合物データベースに収納されている検索データとに基づいて試料の未知化合物を判定するステップと、該判定ステップで判定不能の試料の未知化合物を新たな化合物として化合物データベースに登録するステップとで粒子線装置による化合物判定方法を構成する。
請求項（抜粋）：
粒子線を試料に照射し試料から発生する信号により試料の定量分析を行い化合物の判定を行う粒子線装置による試料の化合物判定方法において、試料の定量分析により未知化合物の化学組成を求めるステップと、該ステップにより得られた未知化合物の化学組成と化合物データベースに収納されている検索データとに基づいて試料の未知化合物を判定するステップと、該判定ステップにおいて判定不能の試料未知化合物を新たな化合物として化合物データベースに登録するステップとを備えていることを特徴とする粒子線装置による試料の化合物判定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001AA04
, 2G001AA05
, 2G001AA10
, 2G001BA05
, 2G001CA01
, 2G001FA01
, 2G001FA06
, 2G001HA09
, 2G001KA01
, 2G001KA20
, 2G001NA03
, 2G001NA10
, 2G001NA13
, 2G001NA17
, 2G001NA18
, 2G001NA20
