特許

J-GLOBAL ID：200903061146682680

X線位相差撮影装置

発明者： 小林 憲司 ,  泉 弘一 ,  木村 滋 ,  木村 英和
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-202094
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356603
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 電子デバイスの評価に適用可能な高い空間分解能を有するX線位相差撮影装置を提供する。【解決手段】 X線源11と、被評価試料2を透過した前記X線1を入射せしめる第1の一対の分光結晶対6a、6bと、前記X線を入射せしめる第2の一対の分光結晶対9a、9bと、前記X線源11と前記第1の一対の分光結晶対6a、6bとの間に設けた二つの2結晶分光器12a、12bとからなり、前記第1の一対の分光結晶対6a、6bと第2の一対の分光結晶対9a、9bとは非対称反射効果を有し、且つ、第1の一対の分光結晶対6a、6bによる拡大方向と第2の一対の分光結晶対9a、9bの拡大方向とが直交するように、前記分光結晶対6a、6b、9a、9bを配置すると共に、前記二つの2結晶分光器12a、12bで、前記X線源11のX線を単色化せしめたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

X線源と、被評価試料を透過した前記X線を入射せしめる第1の一対の分光結晶対と、前記X線を入射せしめる第2の一対の分光結晶対と、前記X線源と前記第1の一対の分光結晶対との間に設けた二つの2結晶分光器とからなり、前記第1の一対の分光結晶対と第2の一対の分光結晶対とは非対称反射効果を有し、且つ、第1の一対の分光結晶対による拡大方向と第2の一対の分光結晶対の拡大方向とが直交するように、前記分光結晶対を配置すると共に、前記二つの2結晶分光器で、前記X線源のX線を単色化せしめたことを特徴とするX線位相差撮影装置。

Fターム (18件)：

2G001AA01 ,  2G001AA09 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001EA01 ,  2G001EA02 ,  2G001EA08 ,  2G001EA09 ,  2G001EA20 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001KA12 ,  2G001LA11 ,  2G001NA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 位相型X線CT装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-002048   出願人：株式会社日立製作所
• 単色X線CT装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-044505   出願人：新日本製鐵株式会社, 高エネルギー物理学研究所長