特許

J-GLOBAL ID：200903061147171395

軟磁性合金膜形成用Fe-Ni-Co系合金ターゲット材およびその製造方法

発明者： 高島 洋 ,  上野 友典 ,  藤本 光晴
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-086855
公開番号（公開出願番号）：特開2006-265656
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】 Fe-Co-B合金ターゲット材に比べ、ターゲット材の透磁率が低くターゲット材の厚さを厚く設定しても十分な漏洩磁束が得られるとともに、優れた軟磁気特性を有する軟磁性膜を形成することが可能なFe-Ni-Co系合金ターゲット材を提供する。【解決手段】 原子比における組成式が(Fe1-(X+Y)-NiX-CoY)1-Z-MZ、0.01≦X≦0.60、0.01≦Y≦0.90、0.05≦Z≦0.25で表され、前記組成式の元素Mが(B、C、Si、P)から選ばれる1種または2種以上の元素であるターゲット材であって、最大透磁率が300以下である軟磁性合金膜形成用Fe-Ni-Co系合金ターゲット材である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

原子比における組成式が(Fe1-(X+Y)-NiX-CoY)1-Z-MZ、0.01≦X≦0.60、0.01≦Y≦0.90、0.05≦Z≦0.25で表され、前記組成式の元素Mが(B、C、Si、P)から選ばれる1種または2種以上の元素であるターゲット材であって、最大透磁率が300以下であることを特徴とする軟磁性合金膜形成用Fe-Ni-Co系合金ターゲット材。

IPC (7件)：

C23C 14/34 ,  B22F 3/00 ,  C22C 1/04 ,  C22C 19/03 ,  C22C 19/07 ,  C22C 33/02 ,  C22C 38/00

FI (8件)：

C23C14/34 A ,  B22F3/00 E ,  C22C1/04 F ,  C22C19/03 D ,  C22C19/07 C ,  C22C33/02 M ,  C22C38/00 303S ,  C22C38/00 304

Fターム (11件)：

4K018AA08 ,  4K018AA10 ,  4K018AA25 ,  4K018BA04 ,  4K018BA14 ,  4K018BB06 ,  4K018EA13 ,  4K018HA08 ,  4K018KA43 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許公開出願第2002/0058159A1号明細書
  
• Fe-Co-B系合金ターゲット材、その製造方法、軟磁性膜および磁気記録媒体ならびにTMR素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-100406   出願人：日立金属株式会社