特許

J-GLOBAL ID：200903061152076627

反り変形を有する光位相調整された光導波路型光素子チップ

発明者： 永田 裕俊 ,  木内 和昌 ,  菅又 徹 ,  日高 潤 ,  小林 正信 ,  本田 秀紀
出願人/特許権者： 住友セメント株式会社
代理人 (1件)： 宇井 正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074557
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289239
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 直流電界を用いずに、出力光の位相を調整可能な光素子チップを提供する。【構成】 光導波路が形成されている基板上に、光導波路形成材料とは異なる材料を用いて、内部応力を有する堆積膜層を形成し、この基板を円弧状に反り変形させて光導波路に歪を誘起させ、それによって光導波路を伝播する光の位相を変化させた光導波路型光素子チップ。

請求項（抜粋）：

基板上に形成され、かつ少なくとも光弾性効果を示す強誘電体材料よりなる光導波路を有し、前記基板の少なくとも一面上に、前記光導波路を形成している材料とは異なる材料よりなる膜層が形成され、前記基板は、前記堆積膜層の内部に発生する内部応力の効果により、前記基板の前記光導波路を含む面に垂直な方向に曲率中心を有する円弧状に反り変形し、それによって、前記光導波路に歪が誘起されており、前記光導波路の光弾性効果と、前記歪による光導波路屈折率の微小変化に基づき、この光導波路中を伝播する光の位相が所望位相に調整される、ことを特徴とする、反り変形を有する光位相調整された光導波路型光素子チップ。

IPC (2件)：

G02B 6/12 ,  G02B 26/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光制御素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-039988   出願人：日本電信電話株式会社
• 導波路回折格子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-319277   出願人：日本電信電話株式会社