特許

J-GLOBAL ID：200903061166041575

粉体製造装置および方法

発明者： 渡辺 政廣 ,  山下 壽生 ,  本郷 俊明 ,  高橋 伸明 ,  三石 尚 ,  高添 敏彦
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  国立大学法人山梨大学 ,  三洋機工株式会社
代理人 (3件)： 萩原 康司 ,  金本 哲男 ,  亀谷 美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-266451
公開番号（公開出願番号）：特開2009-095685
出願日： 2007年10月12日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：

【課題】マイクロ波のエネルギーにより発生させたプラズマを利用して粉体を製造するに際し、プラズマを容易に着火でき、また、高熱による反応管の破損も回避できるようにする。【解決手段】マイクロ波のエネルギーにより発生させたプラズマを利用して粉体を製造する粉体製造装置1であって、反応管10内にプラズマ生成ガスbを供給するプラズマ生成ガス供給機構12と、反応管10内に粉体原料aを供給する原料供給機構11と、反応管10内にマイクロ波のエネルギーを伝播させるマイクロ波伝播機構50を有する。プラズマ生成ガス供給機構12は、反応管10の内側面に沿ってプラズマ生成ガスbを吐出し、原料供給機構11は、反応管10の内側面から離れた位置で反応管10内に粉体原料aを供給する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

マイクロ波のエネルギーにより発生させたプラズマを利用して粉体を製造する粉体製造装置であって、 反応管内にプラズマ生成ガスを供給するプラズマ生成ガス供給機構と、 前記反応管内に粉体原料を供給する原料供給機構と、 前記反応管内にマイクロ波のエネルギーを伝播させるマイクロ波伝播機構を有することを特徴とする、粉体製造装置。

IPC (4件)：

B01J 19/08 ,  B01D 47/06 ,  B01J 35/02 ,  B01J 37/34

FI (4件)：

B01J19/08 K ,  B01D47/06 Z ,  B01J35/02 Z ,  B01J37/34

Fターム (31件)：

4D032AC08 ,  4D032AC09 ,  4D032DA04 ,  4G075AA27 ,  4G075AA35 ,  4G075BB02 ,  4G075BD03 ,  4G075BD08 ,  4G075BD22 ,  4G075BD24 ,  4G075CA02 ,  4G075CA03 ,  4G075DA02 ,  4G075EA05 ,  4G075EA06 ,  4G075EB21 ,  4G075EB43 ,  4G075EC03 ,  4G075EC25 ,  4G075FB06 ,  4G169AA01 ,  4G169AA02 ,  4G169AA03 ,  4G169AA08 ,  4G169AA11 ,  4G169CC17 ,  4G169CC32 ,  4G169EA01X ,  4G169EA01Y ,  4G169FA01 ,  4G169FB58

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 微粒子触媒、合金微粒子触媒又は複合酸化物微粒子触媒の製造方法及びその装置、並びにその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-272731   出願人：国立大学法人山梨大学

審査官引用 (3件)

• 特開平3-214600
  
• 微粒子触媒、合金微粒子触媒又は複合酸化物微粒子触媒の製造方法及びその装置、並びにその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-272731   出願人：国立大学法人山梨大学
• 超微粉のマイクロ波プラズマ化学合成
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-521901   出願人：マテリアルズモディフィケーション,インコーポレイティド