特許

J-GLOBAL ID：200903061197331458

フィルタ挿入型導波路デバイスとその製造方法

発明者： 井上 靖之 ,  柳澤 雅弘
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-214651
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047043
出願日： 1998年07月29日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 溝加工時のブレードの摩耗を抑制し得る、大量生産に適したフィルタ挿入型導波路デバイスとその製造方法を提供すること。【解決手段】 シリコン基板1上に形成された石英系ガラス光導波路(第1および第2の入出力導波路3,4、導波路5)を横切って溝13を形成し、この溝に誘電体多層膜フィルタ14を挿入し、樹脂で固定する。溝13に沿い前記石英系ガラス光導波路のコアおよびその近傍のガラス以外のガラスを除去しSiテラス21の露出した突出部23を形成する。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上に形成された石英系ガラス光導波路と、前記石英系ガラス光導波路を横切って形成された溝と、前記溝に挿入された誘電体多層膜フィルタと、前記誘電体多層膜フィルタを前記溝に固定するための樹脂とから構成されるフィルタ挿入型導波路デバイスにおいて、前記溝に沿い前記石英系ガラス光導波路のコアおよびその近傍のガラス以外のガラスが除去されていることを特徴とするフィルタ挿入型導波路デバイス。

IPC (3件)：

G02B 6/12 ,  H04B 10/28 ,  H04B 10/02

FI (2件)：

G02B 6/12 F ,  H04B 9/00 W

Fターム (11件)：

2H047AA03 ,  2H047AA12 ,  2H047BB12 ,  2H047BB14 ,  2H047CC05 ,  2H047CC07 ,  2H047EE03 ,  2H047EE26 ,  2H047GG04 ,  5K002BA02 ,  5K002BA07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ハイブリッド光集積回路及びその製造方法並びに光伝送モジュール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-245438   出願人：日立電線株式会社
• フィルタ付導波路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-286280   出願人：日立電線株式会社