特許
J-GLOBAL ID:200903061233489357

共振器光学装置およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-294592
公開番号(公開出願番号):特開平8-213712
出願日: 1995年11月13日
公開日(公表日): 1996年08月20日
要約:
【要約】【課題】出力効率の高い共振器光学装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 垂直共振器面発光型などのレーザ共振器光学装置であって、ブラッグ反射型多層下部ミラーが形成された基板と、半導体下部スペーサ領域と、活性領域と、下部ミラーおよび活性領域ならびに下部スペーサ領域を囲む誘電体領域とを有する。上部スペーサ領域および上部ミラーが活性領域上に設けられている。上部ミラーは、金属端子が設けられた開口部を有している。端子は、例えばインジウム錫酸化物などの透明かつ導電性を有する酸化物から形成されている上部スペーサ領域と直接接触している。
請求項(抜粋):
活性領域と、スペーサ領域と、該スペーサ領域を介して該活性領域と電気的に接続された電気的端子とを有する共振器光学装置であって、該スペーサ領域は、透明かつ導電性を有する酸化物からなる共振器光学装置。
IPC (2件):
H01S 3/18 ,  H01L 33/00
引用特許:
審査官引用 (8件)
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