特許
J-GLOBAL ID：200903061237302847
半導体製造装置のボートエレベータ速度制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341894
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169664
出願日： 1993年12月13日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】半導体製造装置のボートエレベータ速度制御に於いて、ボートの装入、引出しの時間を短縮し、スループットの向上を図る。【構成】装入引出行程を所要分割し分割点を検出する位置検出手段33,34と、ボート16を昇降するモータ19と、モータを駆動するモータドライバ25と、該モータドライバに制御信号を発する制御器31とを有し、前記位置検出手段が検出する分割点で制御速度を変更する様にすると共に少なくとも始端区間と終端区間とを他の区間よりも増速して制御する様構成し、ウェーハに熱影響のでない始端区間、終端区間を他の区間よりも早く昇降させることで、装入引出に要する時間を短縮する。
請求項（抜粋）：
ボートを半導体製造装置の反応炉に装入、引出すボートエレベータに於いて、装入引出行程を所要分割し分割点を検出する位置検出手段と、ボートを昇降するモータと、モータを駆動するモータドライバと、該モータドライバに制御信号を発する制御器とを有し、前記位置検出手段が検出する分割点で制御速度を変更する様にすると共に少なくとも始端区間と終端区間とを他の区間よりも増速して制御する様構成したことを特徴とする半導体製造装置のボートエレベータ速度制御装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, H01L 21/22 511
, H01L 21/68
