特許
J-GLOBAL ID：200903061262380330

圧電アクチュエータおよびリソグラフィ装置およびデバイス製造方法

発明者：
ドミニカス ヤコブス ペトリュス アドリアヌス フランケン

ドミニカス ヤコブス ペトリュス アドリアヌス フランケン について

, 
バスティアン ステファヌス ヘンドリクス ヤンセン

バスティアン ステファヌス ヘンドリクス ヤンセン について


出願人/特許権者：
エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ

エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ について


代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-360001
公開番号（公開出願番号）：特開2003-264985
出願日： 2002年11月07日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：
【要約】【課題】 従来より少ない数の圧電堆でリソグラフィ投影装置の光学素子の位置決めができる、コンパクトで多機能の圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】 この2次元圧電アクチュエータ10は、リソグラフィ投影装置の一部でもよい、二つの外板20、25、二つの外板の間に配置した内板30、および内板30の少なくとも片側に内板と二つの外板20、25の一つとの間に配置した少なくとも二つの、3層42、43、44構成の圧電堆40を含み、外板がばね35によって互いの方へ引寄せられている。外板20の切欠き55を貫通する中央ピン50が内板30に取付けてあり、その他端に光学素子が取付けてある。この内板とピンの間が膜17による減結合でもよい。このアクチュエータは、コンパクトで、且つ光学素子を二つの実質的に直交する方向に、0.03nm以上の精度で位置決めできる。
請求項（抜粋）：
圧電アクチュエータ(10)であって:二つの外板(20、25)、該二つの外板の間に配置した内板(30);および前記内板(30)の少なくとも片側に前記内板(30)と前記二つの外板(20、25)の一つとの間に配置した少なくとも二つの圧電堆(40、400、401);を含み、前記外および内板(20、25、30)が実質的に平行で、前記外板が圧縮手段(35)によって互いの方へ引寄せられているアクチュエータ。
IPC (4件)：
H02N 2/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/09
FI (5件)：
H02N 2/00 C ,  H01L 41/08 N ,  H01L 21/30 515 Z ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 S
Fターム (20件)：
5F046BA04 ,  5F046CB27 ,  5F046DA12 ,  5H680AA12 ,  5H680AA19 ,  5H680BB09 ,  5H680BB13 ,  5H680BB20 ,  5H680BC10 ,  5H680DD01 ,  5H680DD23 ,  5H680DD34 ,  5H680DD37 ,  5H680DD55 ,  5H680DD65 ,  5H680DD82 ,  5H680DD95 ,  5H680DD97 ,  5H680FF24 ,  5H680FF30
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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