特許

J-GLOBAL ID：200903061271424404

導波路型受光素子及びその製造方法

発明者： 西片 一昭 ,  入川 理徳
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 稲垣 清 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-319521
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139520
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】 感度が良く、応答速度が速く、しかも導波体との光結合効率が高い導波路型受光素子を提供する。【解決手段】 本導波路型受光素子10は、光検出器であって、光の進行方向に沿って順次光導波部18、光収縮部20及び光吸収部22を備えている。光導波部は、それぞれpn接合を構成するクラッド層14、28と、その間に挟まれた光導波層16、26とを有する。光収縮部20は、光導波部18のクラッド層に連続するクラッド層と、光導波部の光導波層に連続する光導波層と、光導波層に接しつつ横方向の幅及び厚さが光の進行方向に縮小する光吸収層24とを有する。光吸収部22は、光収縮部20とは電気的に絶縁され、かつそれぞれpn接合を構成するクラッド層14、28と、その間に挟まれた光導波層16、26とを有し、光導波層の間に一方の端部で光収縮部の光吸収層に連続して同じ幅でストライプ状に延在する光吸収層とを有する。これにより、光ファイバや石英光部品等の導波体からの光と検出器10の受光端面の光の導波径の整合が取れている。

請求項（抜粋）：

光導波層と、光導波層に対して小さい比屈折率を有して光導波層を挟むクラッド層とを有する光導波部と、光導波部のクラッド層に連続するクラッド層と、光導波部の光導波層に連続する光導波層と、光導波層に接しつつ横方向の幅が光の進行方向に沿って減少すると共に厚さが増加する光吸収層とを有する光収縮部と、pn接合を構成するクラッド層と、その間に挟まれ、かつ一方の端部で光収縮部の光吸収層の幅の狭い方の端部に連続し、その端部の幅と厚さでストライプ状に延在する光吸収層とを有する光吸収部とを備えていることを特徴とする導波路型受光素子。

IPC (2件)：

H01L 31/10 ,  H01L 31/0232

FI (2件)：

H01L 31/10 A ,  H01L 31/02 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光半導体装置及びその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-216006   出願人：富士通株式会社
• 特開平3-120876
  
• 特開平3-120876