特許
J-GLOBAL ID:200903061314530432
ヒューズの切断方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-257602
公開番号(公開出願番号):特開2001-085527
出願日: 1999年09月10日
公開日(公表日): 2001年03月30日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】Cuヒューズの切断する際に飛散するCuの拡散を抑制する。【解決手段】ヒューズブローを行う際、オゾン生成器24で生成されたオゾンガスをノズル25によりレーザの照射部位に吹き付けて、照射部位が酸化雰囲気となるようにする。レーザの熱により切断されたCuヒューズは飛散するが、前記オゾンと反応して銅酸化物が形成される。銅酸化物になると、銅の層間絶縁膜への拡散が遅くなり、後の工程の処理等により層間絶縁膜中へ拡散することはなくなる。
請求項(抜粋):
Cuヒューズ電極を含むリダンダンシ回路を有する半導体装置におけるヒューズの切断方法であって、酸化雰囲気中で前記Cuヒューズ電極に対してレーザを照射して該Cuヒューズ電極を切断することを特徴とするヒューズの切断方法。
IPC (3件):
H01L 21/82
, H01H 69/02
, H01H 85/00
FI (3件):
H01L 21/82 F
, H01H 69/02
, H01H 85/00 T
Fターム (9件):
5F064FF02
, 5F064FF27
, 5F064FF32
, 5F064FF42
, 5F064FF47
, 5G502AA20
, 5G502BB13
, 5G502EE04
, 5G502JJ01
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特表平7-506221
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金属配線の処理方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-223445
出願人:三菱電機株式会社
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特表平7-506221
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