特許
J-GLOBAL ID:200903061318130412
被検体の外観形状検査方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
江原 望 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-331958
公開番号(公開出願番号):特開2001-249012
出願日: 2000年10月31日
公開日(公表日): 2001年09月14日
要約:
【要約】【課題】 設備コスト・スペースの増加が抑制され作業効率に優れた判定精度の高い被検体の外観形状検査方法及び装置を供する。【解決手段】 被検体に対して第1のスリット光により照射したライン部分を第1撮像手段4が撮像し外観データを入手し、同時に前記ライン部分に照射した第2のスリット光により同じライン部分を第2撮像手段5が撮像し形状データを入手し、前記同一ライン部分の前記外観データと前記形状データとから被検体の外観形状の良否を判定する被検体の外観形状検査方法及び装置。
請求項(抜粋):
被検体に対して第1のスリット光により照射したライン部分を第1撮像手段が撮像し外観データを入手し、同時に前記ライン部分に照射した第2のスリット光により同じライン部分を第2撮像手段が撮像し形状データを入手し、前記同一ライン部分の前記外観データと前記形状データとから被検体の外観形状の良否を判定することを特徴とする被検体の外観形状検査方法。
IPC (7件):
G01B 11/24
, B60C 25/00
, B62D 65/12
, B62D 65/18
, G01B 11/30
, G01N 21/95
, B60C 19/00
FI (7件):
B60C 25/00
, B62D 65/12 C
, B62D 65/18 D
, G01B 11/30 A
, G01N 21/95 Z
, B60C 19/00 H
, G01B 11/24 K
Fターム (50件):
2F065AA49
, 2F065AA54
, 2F065BB05
, 2F065CC13
, 2F065DD03
, 2F065FF07
, 2F065FF42
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065GG16
, 2F065HH02
, 2F065HH05
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL22
, 2F065QQ33
, 2F065QQ38
, 2F065SS04
, 2F065SS13
, 2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051BA01
, 2G051BA06
, 2G051BA08
, 2G051BA10
, 2G051BA20
, 2G051BC01
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051DA08
, 2G051DA15
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051EC01
, 2G051FA10
, 3D114AA03
, 3D114AA11
, 3D114BA24
, 3D114HA03
, 3D114JA15
引用特許: