特許

J-GLOBAL ID：200903061410506623

薄膜部材並びにこれを用いた熱型変位素子及び放射検出装置

発明者： 鈴木 純児 ,  石津谷 徹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134143
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326299
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】 所望の機械的強度を確保しつつ膜厚を薄くすることができる薄膜部材を用いることによって、感度等の特性の向上を図る。【解決手段】 膨張係数の異なる2つの膜4,5からなる変位部3は、脚部2を介して基板1に支持される。変位部3は赤外線吸収部を兼ねる。反射板6が、変位部3の先端部に対して固定される。変位部3が赤外線iを受けると熱を発生して撓み、反射板6による読み出し光jの反射方向が変化する。反射板6は、平面部6aと、平面部6aの周辺部分の全体に渡って、平面部6aから立ち下がるように形成された立ち下がり部6bと、立ち下がり部6bの下部から側方に外側にわずかに延びた水平部6cと、を備えた薄膜部材で構成される。

請求項（抜粋）：

1層又は複数層の膜からなる平面部を有し該平面部が空中に位置するように支持された薄膜部材であって、前記平面部の周辺部分の少なくとも一部に渡って、前記平面部から立ち上がるかあるいは立ち下がる立ち上がり部又は立ち下がり部が形成されたことを特徴とする薄膜部材。

IPC (4件)：

B81B 3/00 ,  B32B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  G01J 5/38

FI (4件)：

B81B 3/00 ,  B32B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  G01J 5/38

Fターム (12件)：

2G066BA20 ,  2G066BA57 ,  4F100AA20 ,  4F100AB10A ,  4F100AB11B ,  4F100AK49 ,  4F100AK80 ,  4F100AR00A ,  4F100AR00B ,  4F100BA02 ,  4F100GB41 ,  4F100JK01

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 光読み出し型放射-変位変換装置及びその製造方法、放射検出方法及び装置、並びにこれを用いた映像化方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-256042   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭62-005541
  
• PLZTの駆動方法及びそのマイクロアクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-169992   出願人：三菱電線工業株式会社
• 特開平2-173360
  

審査官引用 (4件)

• PLZTの駆動方法及びそのマイクロアクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-169992   出願人：三菱電線工業株式会社
• 光読み出し型放射-変位変換装置及びその製造方法、放射検出方法及び装置、並びにこれを用いた映像化方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-256042   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-173360
  
• 特開昭62-005541