基板露光装置およびそれを使用した基板端縁露光方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143120
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186160
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】消費電力が少なく、光源の寿命が長く、さらに、スループットを向上することができる基板露光装置およびそれを用いた基板端縁露光方法を提供する。【解決手段】キセノンフラッシュランプ541は制御部90に電気的に接続されており、露光部50の移動中は発光せず、露光部50が移動して、露光ヘッド530が基板Wの露光面における露光対象位置の上方に停止すると所定のパルス周波数で繰り返しパルス発光を行う。石英ロッド542は断面が正方形である四角柱形状をなしており、その6つの外面が全て光学研磨されており、キセノンフラッシュランプ541から発せられた光が入射面542aに入射し、その内部において各側面により全反射を繰り返し、出射面542bにおいて均一な照度分布となって出射し、結像レンズ系により基板Wの露光面に結像される。

請求項（抜粋）：

基板の露光を行う装置であって、基板にパルス光を照射する光源と、前記光源からの光が基板面上のパターンの非形成箇所に照射されるように基板と前記光源とを相対的に移動させる相対移動手段とを備えたことを特徴とする基板露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 577 , G03F 7/20 521

引用特許：

出願人引用 (6件)

照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-051490 出願人：株式会社ニコン
特開昭56-080043
特開平2-177313

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審査官引用 (9件)

照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-051490 出願人：株式会社ニコン
リソグラフィ方法およびリソグラフィ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-200076 出願人：株式会社ニコン
特開昭56-080043

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