レーザ加工装置及び加工方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-076210
公開番号（公開出願番号）：特開平10-263873
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】【課題】クラックの発生しにくいレーザ加工技術を提供する。【解決手段】レーザ光を出射する固体レーザ源と、固体レーザ源から出射したレーザ光の少なくとも一部を紫外域の波長のレーザ光に変換する波長変換手段と、波長変換手段により生成された紫外領域のレーザ光を、加工対象物の表面へ集光する集光光学系とを有する。

請求項（抜粋）：

レーザ光を出射する固体レーザ源と、前記固体レーザ源から出射したレーザ光の少なくとも一部を紫外域の波長のレーザ光に変換する波長変換手段と、前記波長変換手段により生成された紫外領域のレーザ光を、加工対象物の表面へ集光する集光光学系とを有するレーザ加工装置。

IPC (2件)：

B23K 26/06 , H05K 3/00

FI (2件)：

B23K 26/06 Z , H05K 3/00 N

引用特許：

審査官引用 (4件)

特表平6-509445
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-006599 出願人：株式会社東芝
レーザマーキング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-289794 出願人：住友重機械工業株式会社

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