特許
J-GLOBAL ID:200903061504014163
研磨シート用ポリウレタン発泡体及びその製造方法、研磨パッド用研磨シート、並びに研磨パッド
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (4件):
鈴木 崇生
, 梶崎 弘一
, 尾崎 雄三
, 谷口 俊彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-233367
公開番号(公開出願番号):特開2004-075700
出願日: 2002年08月09日
公開日(公表日): 2004年03月11日
要約:
【課題】膨張済み微小中空球体や加熱膨張性微小中空球体を用いることなく、気泡径が大きく分布した研磨シート用ポリウレタン発泡体、その製造方法、及び研磨シートを提供すること。さらに、該ポリウレタン発泡体を用いて、研磨面で砥粒を多く保持することができ、かつ研磨速度の大きい研磨パッドを提供すること。【解決手段】イソシアネート基含有化合物を含む第1成分と活性水素基含有化合物を含む第2成分とを主成分とする研磨シート用ポリウレタン発泡体であって、さらに、ポリエーテル変性シリコンオイルと、エステル変性シリコンオイル、エポキシ変性シリコンオイル、カルビノール変性シリコンオイル、フェノール変性シリコンオイル、メルカプト変性シリコンオイル、アミノ変性シリコンオイル、及びカルボキシル変性シリコンオイルからなる群より選択される少なくとも1種の変性シリコン界面活性剤とを含有することを特徴とする研磨シート用ポリウレタン発泡体。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
イソシアネート基含有化合物を含む第1成分と活性水素基含有化合物を含む第2成分とを主成分とする研磨シート用ポリウレタン発泡体であって、さらに、ポリエーテル変性シリコンオイルと、エステル変性シリコンオイル、エポキシ変性シリコンオイル、カルビノール変性シリコンオイル、フェノール変性シリコンオイル、メルカプト変性シリコンオイル、アミノ変性シリコンオイル、及びカルボキシル変性シリコンオイルからなる群より選択される少なくとも1種の変性シリコン界面活性剤とを含有することを特徴とする研磨シート用ポリウレタン発泡体。
IPC (5件):
C08G18/00
, B24B37/00
, C08J5/14
, C08L75/04
, H01L21/304
FI (5件):
C08G18/00 G
, B24B37/00 C
, C08J5/14
, C08L75/04
, H01L21/304 622F
Fターム (57件):
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CA01
, 3C058CB03
, 3C058DA12
, 4F071AA53
, 4F071AA67
, 4F071AH17
, 4F071DA08
, 4F071DA13
, 4F071DA20
, 4J002CK021
, 4J002CP052
, 4J002CP092
, 4J002CP102
, 4J002CP182
, 4J002FD312
, 4J002GM00
, 4J034CA04
, 4J034CA15
, 4J034CB03
, 4J034CB07
, 4J034CB08
, 4J034CC03
, 4J034CC12
, 4J034CC23
, 4J034CC45
, 4J034CC52
, 4J034CC61
, 4J034CC62
, 4J034CC67
, 4J034CD08
, 4J034CD13
, 4J034DF02
, 4J034DF12
, 4J034DF16
, 4J034DF20
, 4J034DG06
, 4J034HA01
, 4J034HA07
, 4J034HC03
, 4J034HC12
, 4J034HC13
, 4J034HC17
, 4J034HC22
, 4J034HC46
, 4J034HC52
, 4J034HC54
, 4J034HC64
, 4J034HC71
, 4J034HC73
, 4J034NA01
, 4J034NA09
, 4J034PA05
, 4J034QC01
, 4J034QD03
, 4J034RA11
引用特許:
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