パターンの位置合わせ方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-315786
公開番号（公開出願番号）：特開2000-149020
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】位置決めマークが配設されていないパターンの位置合わせを行う。【解決手段】マスタパターンにおいて、ランドを位置決めマークFmとし、ランドの中心Cmの座標を位置決めマークの座標とし、ランドとつながるパターンが延びる方向DIを位置決めマークの方向とする。被測定パターンの画像からマスタパターンの位置決めマークFmと対応する位置の所定の大きさの領域を取り出す。この領域内にあってマスタパターンの位置決めマークと方向が同じランドを被測定パターンの位置決めマークFpとして選択する。ランドの中心Cpの座標を位置決めマークの座標として算出する。被測定パターンとマスタパターンの互いの位置決めマークの位置を合わせる。

請求項（抜粋）：

基準となるマスタパターンの画像とカメラで撮像した被測定パターンの画像とを比較することにより被測定パターンを検査するパターン検査方法において、ランドを位置決めマークとし、ランドの中心座標を位置決めマークの座標とし、ランドとつながるパターンが延びる方向を位置決めマークの方向とする位置合わせ方法であって、被測定パターンの画像からマスタパターンの位置決めマークと対応する位置の所定の大きさの領域を取り出し、この領域内にあってマスタパターンの位置決めマークと前記方向が同じランドを被測定パターンの位置決めマークとして選択し、この位置決めマークにおいてランドの中心座標を被測定パターンの位置決めマークの座標として算出し、被測定パターンとマスタパターンの互いの位置決めマークの位置を合わせることにより、マスタパターンと被測定パターンの位置合わせを行うことを特徴とするパターンの位置合わせ方法。

IPC (2件)：

G06T 7/00 , H01L 21/68

FI (2件)：

G06F 15/62 405 C , H01L 21/68 G

Fターム (25件)：

5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB02 , 5B057CB06 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC01 , 5B057CD02 , 5B057CD03 , 5B057CD05 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB09 , 5B057DC03 , 5B057DC08 , 5B057DC32 , 5F031CA20 , 5F031JA04 , 5F031JA38 , 5F031JA50

引用特許：

審査官引用 (7件)

集積回路チツプ位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-161609 出願人：シヤープ株式会社
特開昭61-213612
特開昭57-085180

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