特許

J-GLOBAL ID：200903061540905473

感光材料組成物

発明者： 青木 信雄
出願人/特許権者： 日本石油株式会社
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343296
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167812
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 紫外線や遠紫外線、X線、電子線等を光源とする半導体素子製造用フォトリソグラフィーのレジストとして好適な感光材料組成物であって高解像度化と高感度化の要求を満足する新しいレジストを提供する。【構成】 フラーレンと感光剤とから成る感光材料組成物により上記目的を達成できる。

請求項（抜粋）：

フラーレンと感光剤とから成る感光材料組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  C01B 31/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/008 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 感光材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-196572   出願人：日本石油株式会社