特許
J-GLOBAL ID：200903061549056045

吸着固定装置

発明者：
狛 豊

狛 豊 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-080757
公開番号（公開出願番号）：特開平11-284056
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 サイズの大きい被固定物に研磨加工を施しても同心円状の模様が生じることはなく、しかも構造が簡単で吸引固定力が低下しない吸着固定装置を提供する。【解決手段】 吸着固定装置は、上方が開放した凹部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複数個の吸引室が形成された基台と、該基台の凹部に嵌合して配設された通気性を有する載置台と、各吸引室と夫々連通する吸引手段とを具備し、載置台上に被固定物を載置して吸引固定する。上記載置台は、複数の線材が線芯を揃えて一体成形され、線芯方向に連通する通気孔が形成されている。
請求項（抜粋）：
上方が開放した凹部を備え該凹部に同心円状に設けられた隔壁によって複数個の吸引室が形成された基台と、該基台の該凹部に嵌合して配設された通気性を有する載置台と、該各吸引室と夫々連通する吸引手段とを具備し、該載置台上に被固定物を載置して吸引固定する吸着固定装置において、該載置台は、複数の線材が線芯を揃えて一体成形され、各線材によって囲まれる領域が線芯方向に通気孔を形成する、ことを特徴とする吸着固定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/08 ,  H01L 21/304 622
FI (3件)：
H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A ,  H01L 21/304 622 H
引用特許：
審査官引用 (4件)
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