特許

J-GLOBAL ID：200903061669667625

クリーニングシートおよびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法

発明者： 寺田 好夫 ,  並河 亮
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-135242
公開番号（公開出願番号）：特開2002-327156
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングシート及びクリーニング方法を提供する。【解決手段】 クリーニング層の少なくとも片面に、ポリオレフィン系樹脂からなりかつ離型処理を施さない保護フィルムがセパレータとして貼り合わされてなり、かつこの保護フィルム中に含まれる熱劣化防止剤と滑剤の合計量がポリオレフィン系樹脂100重量部あたり0.01重量部未満であるクリーニングシートである。

請求項（抜粋）：

【請求項1】 クリーニング層の少なくとも片面に、ポリオレフィン系樹脂からなりかつ離型処理を施さない保護フィルムがセパレータとして貼り合わされてなり、かつこの保護フィルム中に含まれる熱劣化防止剤と滑剤の合計量がポリオレフィン系樹脂100重量部あたり0.01重量部未満であることを特徴とするクリーニングシート。

IPC (3件)：

C09J 7/02 ,  C09J133/00 ,  H01L 21/304 641

FI (3件)：

C09J 7/02 Z ,  C09J133/00 ,  H01L 21/304 641

Fターム (34件)：

4J004AA05 ,  4J004AB01 ,  4J004AB05 ,  4J004AB07 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CC02 ,  4J004DA04 ,  4J004DA05 ,  4J004DA06 ,  4J004DB02 ,  4J004EA05 ,  4J004FA04 ,  4J004FA10 ,  4J040DF011 ,  4J040DF021 ,  4J040GA01 ,  4J040HB03 ,  4J040HB14 ,  4J040HB18 ,  4J040HB41 ,  4J040HB43 ,  4J040HC14 ,  4J040HD20 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040KA11 ,  4J040KA16 ,  4J040MA04 ,  4J040MA10 ,  4J040MB03 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA30

引用特許：

審査官引用 (2件)

• レジスト除去用粘着テ-プとレジスト除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-116680   出願人：日東電工株式会社
• クリーニングシ-ト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-121242   出願人：日東電工株式会社