特許
J-GLOBAL ID：200903061737444346

導電ペーストの塗布方法

発明者：
有田 潔

有田 潔 について

, 
酒見 省二

酒見 省二 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-307282
公開番号（公開出願番号）：特開2002-118351
出願日： 2000年10月06日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：
【要約】【課題】 スクリーンマスクのパターン孔からの導電ペーストの版抜け性を向上させてワークの電極上に十分に転写できる導電ペーストの塗布方法を提供すること。【解決手段】 ワーク1の表面の電極2にプラズマのイオンや電子を衝突させた後、ワーク1の表面にスクリーンマスクを重ね、スクリーンマスク上をスキージを摺動させることにより、スクリーンマスクのパターン孔を通して前記電極2上に導電ペーストを塗布し、次いでスクリーンマスクとワーク1を分離して導電ペーストを前記電極2上に転写する。
請求項（抜粋）：
ワークの表面の電極をプラズマでクリーニングした後、ワークの表面にスクリーンマスクを重ね、スクリーンマスク上をスキージを摺動させることにより、スクリーンマスクのパターン孔を通して前記電極上に導電ペーストを塗布し、次いでスクリーンマスクとワークを分離して導電ペーストを前記電極上に転写することを特徴とする導電ペーストの塗布方法。
IPC (11件)：
H05K 3/34 505 ,  H05K 3/34 501 ,  B23K 1/00 330 ,  B23K 3/06 ,  B41F 15/08 303 ,  B41F 15/12 ,  B41M 1/12 ,  B41M 9/00 ,  H01L 21/60 ,  H05K 3/26 ,  B23K101:42
FI (13件)：
H05K 3/34 505 C ,  H05K 3/34 501 Z ,  B23K 1/00 330 E ,  B23K 3/06 W ,  B23K 3/06 V ,  B41F 15/08 303 E ,  B41F 15/12 A ,  B41M 1/12 ,  B41M 9/00 ,  H05K 3/26 A ,  B23K101:42 ,  H01L 21/92 604 E ,  H01L 21/92 604 Z
Fターム (36件)：
2C035AA06 ,  2C035FA27 ,  2C035FB24 ,  2C035FC04 ,  2C035FD00 ,  2C035FD01 ,  2C035FE01 ,  2H113AA01 ,  2H113BA09 ,  2H113BA14 ,  2H113BB09 ,  2H113BB22 ,  2H113BC12 ,  2H113CA17 ,  2H113FA21 ,  2H113FA23 ,  2H113FA42 ,  2H113FA50 ,  5E319AA03 ,  5E319AC01 ,  5E319BB05 ,  5E319CD01 ,  5E319CD04 ,  5E319CD29 ,  5E319GG03 ,  5E343AA02 ,  5E343AA11 ,  5E343BB25 ,  5E343BB72 ,  5E343DD03 ,  5E343EE01 ,  5E343EE46 ,  5E343ER55 ,  5E343FF13 ,  5E343FF23 ,  5E343GG18
引用特許：
審査官引用 (4件)
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