特許
J-GLOBAL ID：200903061808677290
光変調装置及びその光変調装置の製造方法並びにその光変調装置を具備する画像形成装置及びその光変調装置を具備する画像投影表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-077285
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277767
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：
【要約】【課題】 光変調を行う構造が簡単で応答も速く、使用する入射光の波長が制限されることなく、駆動電圧が低く作動が安定で信頼性も高く、製造工程が少なく低コストの光変調装置及びその製造方法並びにその光変調装置を具備する画像形成装置及び画像投影表示装置を提供する。【解決手段】 反射手段1を側面に組み合わせ構成する薄膜で形成され両端が固定されて静電力で変形する薄膜両端固定梁と、薄膜両端固定梁2の他方側面に形成される非平行な空隙を介して上記薄膜両端固定梁に対向して駆動電圧を印加する基板電極3と、基板電極3の駆動電圧の印加による薄膜両端固定梁2の変形を当接により規制して光変調を行なう薄膜両端固定梁2に基板電極3が対向する対向面4と、対向面4からなる上記基板電極3を形成して薄膜両端固定梁2の一方の固定端2aと他方の固定端2bの両端を固定する基板5とからなる。
請求項（抜粋）：
入射光の反射方向を変えて光変調を行う光変調装置において、入射光を正反射する反射手段と、上記反射手段を側面に組み合わせ構成する薄膜で形成され両端が固定されて静電力で変形する薄膜両端固定梁と、上記薄膜両端固定梁の他方側面に形成される非平行な空隙を介して上記薄膜両端固定梁に対向して駆動電圧を印加する基板電極と、上記基板電極の駆動電圧の印加による上記薄膜両端固定梁の変形を当接により規制して上記反射手段の入射光の光変調を行なう上記薄膜両端固定梁に上記基板電極が対向する対向面と、上記対向面からなる上記基板電極を形成して上記薄膜両端固定梁の一方の固定端と他方の固定端の両端を固定する基板とからなることを特徴とする光変調装置。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, G02B 27/18
G02B 26/08 E
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, G02B 27/18 Z
2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AB38
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
