特許
J-GLOBAL ID：200903061813686788
センシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-288481
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101241
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】構成が簡易で検出感度が良好な新規のセンサを用いたセンシング装置を提供する。【解決手段】半透過半反射性を有する第1の反射体11と、透光体12と、完全反射性又は半透過半反射性を有する第2の反射体13とを順次備えてなるセンサ10に対して、波長選択手段が組み込まれた発振波長安定化手段を備えた測定光照射手段20により、センサ10の第1の反射体11側から測定光L1を入射させる。センサ10の構成とセンサ10に接触された試料17により決まるセンサ10の吸収特性に応じて変化する出射光L2の物理特性を出射光検出手段30により検出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定光が入射されると共に、該測定光が試料によって物理特性の異なる出射光となって出射され検出されるセンサと、
該センサに前記測定光を照射する測定光照射手段と、
前記出射光の物理特性を検出する検出手段とを備えてなるセンシング装置であり、
前記センサが、前記測定光の入射側から、半透過半反射性を有する第1の反射体と、透光体と、完全反射性又は半透過半反射性を有する第2の反射体とを順次備えてなり、
前記第1の反射体及び/又は前記第2の反射体が、前記試料に接触させられると共に該試料によって平均複素屈折率が変化するものであり、
前記第1の反射体の平均複素屈折率と前記第2の反射体の平均複素屈折率と前記透光体の平均複素屈折率及び厚みとに応じて特定波長の光を吸収する吸収特性を示し、前記第1の反射体及び/又は前記第2の反射体から前記吸収特性に応じて変化した前記出射光が出射されるものであり、
前記測定光照射手段が、波長選択手段が組み込まれた発振波長安定化手段を備えたレーザを用いたものであることを特徴とするセンシング装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N21/41 A
, G01N21/27 D
, G01N21/27 C
2G059AA01
, 2G059BB04
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059EE01
, 2G059EE04
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059HH02
, 2G059HH03
, 2G059JJ03
, 2G059JJ05
, 2G059JJ11
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
